一、电极材质纯度要求

金属离子溶出限制?

超纯水兼容性?：电极材质需满足ASTM E1-11标准，金属离子溶出量<0.1ppb（如钛Ta2O5涂层或铂金电极）?；

表面粗糙度?：Ra≤0.2μm，减少微观孔隙吸附杂质?。

材质选择?

惰性金属?：优先选用316L不锈钢（电解抛光）或哈氏合金C-276，避免铜、锌等易溶出金属?；

绝缘涂层?：聚四氟乙烯（PTFE）或氧化铝陶瓷涂层，隔离电极与介质直接接触?。

二、避免电极污染的措施

结构设计?

非接触式测量?：采用电容耦合技术，电极与介质间通过绝缘层（如蓝宝石）隔离，避免物理接触?；

自清洁功能?：集成超声波振动?？椋ㄆ德?0kHz），周期性清除电极表面吸附层?。

工艺控制?

洁净装配?：电极在Class 100无尘室中封装，避免组装污染?；

惰性气体保护?：传感器腔体充填高纯氮气（纯度≥99.999%），防止氧化?。

00:02 断电断水防风险

00:13 定位泄漏源

00:28 分级修复

三、验证与维护

定期校准?：使用在线电阻率仪（如Mettler Toledo）监测介质纯度变化，偏差>0.5MΩ?cm时触发报警?；

电极寿命?：建议每12个月更换一次，或根据溶出检测结果（ICP-MS分析）决定?。

通过上述措施，可确保电容式射频导纳物位计在超纯水系统中长期稳定运行，同时维持介质的高纯度要求?。